FS-Pro™半导体参数分析仪
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FS-Pro™半导体参数分析仪

To One为您带来革命性的量测设备 FS-Pro™,将人工智能算法应用于半导体参数测试,大幅提升测试速度和测试能力。 通过添加 LabExpress 专业版选项,FS-Pro 还可以支持 晶圆映射与探针台自动测试,并支持众多专业化应用。

FS-Pro半导体参数分析仪

简介:FS-Pro™半导体参数分析仪,将人工智能算法应用于半导体参数测试,大幅提升测试速度和测试能力。无论是在科研领域还是工业生 产,您都能感受到技术的力量。


产品特点:

✓ 一体化测试 

FS-Pro™集成直流测试,脉冲测试,瞬态测试,电容测试和低频噪声(1/f 噪声) 测试于单台仪器中,无需换线和重新探针即可完成全部低频参数化表征。 

✓ 超快速 

FS-Pro™引入人工智能驱动测试技术,相比传统半导体参数测试系统其测试速度最高可达 10 倍,在强大速度提升的同时仍保持测试精度。

✓ 模块化架构

FS-Pro™支持模块化架构,在保持紧凑机身的同时又可依照需求扩展,并且支持多通道并行测试,最 高可达 20 路通道,轻松应对高密度生产测试。 

✓ 操作便捷 

内置测量控制软件 LabExpress™拥有直观的用户图形界面,仅需点击几下鼠标就可以完成强大的测 试分析功能,同时可以支持多种探针台矩阵开关等设备,轻松完成晶圆级数据的自动测试任务,更针 对半导体制造提供了完善的解决方案。


主要组件性能指标:

组件性能指标.png


PX600 4 通道台式主机箱

FS-Pro™系统台式主机箱,31.8cm(W)X 18cm(H)  X 35cm(D)的紧凑身材,总重量只有10kg,可搭载 FS380 高精度SMU或FS360 中精度 SMU,最多4路通道。

集成控制器和11寸显示屏,Core i5 低电压 CPU,4G 内存,500G SSD 硬盘,Windows 10 操作系统,预装 LabExpress™基础版测试软件。

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LabExpress™量测软件提供完整的直流,脉冲,瞬态,电容和噪声测试功能,内建常见 MOSFET,BJT,二极管,电阻, 电容器件类型库,测试类型丰富齐全,没有器件知识的新人也可以轻松上手,更针对半导体晶圆厂的日常应用提供了 一整套解决方案。在测试数据分析功能 上 LabExpress™也毫不逊色,丰富的曲线变换与绘图功能,常用的代数运算操作,使即时结果分析变得更加简单。

LabExpress™量测软件.png


FS-Pro 基础信息(使用 PX600 台式机箱):

FS-Pro 基础信息.png


FS-Pro 基础信息(使用 PX600 台式机箱):

典型应用领域.png

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