ARIS Integra Pro主动隔振系统/主动减震系统/主动防震系统
  • ARIS Integra Pro主动隔振系统/主动减震系统/主动防震系统

ARIS Integra Pro主动隔振系统/主动减震系统/主动防震系统

ARIS Integra Pro主动隔振系统/主动减震系统/主动防震系统 紧凑型模块化主动隔振系统,能够抵消影响超高精密设备或工具的振动,多个独立的隔振器可承受高达4000Kg的大型设备负载,安装简易,无需抬高及重新校准。

ARIS Integra Pro主动隔振系统/主动减震系统/主动防震系统

紧凑型模块化主动隔振系统,能够抵消影响超高精密设备或工具的振动,多个独立的隔振器可承受高达4000Kg的大型设备负载,安装简易灵活,无需抬高及重新校准。




主要优势:

 1. 6自由度隔振

 2. 0.5Hz开始隔振有效增益

 3. 可变阻尼

 4. 内置人工智能功能

 5. 主动隔振频率范围可调整

 6. 远程控制

 7. 内置实时诊断工具(频谱分析仪、示波器)

 8. 震动模式(可选)


应用领域:

 1. 电子显微镜(SEM、TEM、FIB、EBL、DualBeam)

 2. 半导体测试设备(光刻机、晶圆测试仪、电子束曝光机、CD_SEM)

 3. 扫描隧道显微镜/STM、扫描探针显微镜SPM、大型原子力显微镜/AFM

 4. X-Ray、CT、MPI

 ......


规格参数:

Model/型号ARIS Integra Pro500 Pro
ARIS Integra Pro1000 Pro
Dimensions/规格(mm)

800mm (Flexible Length) x230x75mm

800mm (Flexible Length) x230x75mm

Load Capacity(Kg)

200-500 per Isolator (Module) Number of Modules unlimited

500-1000 per Isolator (Module) Number of Modules unlimited

Actuaotor Force/制动器力
Vertical = 150N  ; Horizontal = 75N
Active Isolation Range/主动隔振频率
0.5-100Hz
Architecture/结构
MVIS - Multi-layer Vibration Isolation Structure/MVIS-多层隔振结构
Degrees of Freedom/自由度
6 degrees
Vibration Isolation Performance/性能
~8db gain on 1Hz 

~20db gain on 2Hz

Setting Time/响应时间
≤0.1 sec
Real-Time Diagnostic Tools
实时诊断工具
Built-in Real-Time 2 channels Oscilloscope, Real Time 2 channel Spectrum Analyzer
Real-Time performance adjustment
实时性能调整工具
Adaptive Control in ALL 6 degrees of freedom in real-time. Remote Access
Input Voltage/电压
AC 80-260V/50-60Hz

  





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