蔡司电子显微镜主动隔振系统安装方案

ArisMD主动隔震系统&Aris Integra主动隔振系统广泛应用于蔡司Sigma系列扫描电子显微镜、EVO系列扫描电子显微镜、GeminiSEM系列扫描电子显微镜、CrossBeam系列双束电子显微镜FIB-SEM、离子束显微镜等等

背景：Sigma500汽车科学应用、EVO10半导体应用、Sigma300材料科学应用

蔡司 EVO 系列，模块化的 SEM 平台适用于直观操作、例行检测和研究应用

Sigma 系列产品，用于高品质成像与高级分析的场发射扫描电子显微镜

使用单位：BMW

地点：辽宁省沈阳市铁西经济开发区宝马大道一号华晨宝马汽车有限公司

仪器型号：Zeiss Sigma500

隔震方案：ArisMD300

使用单位：河南皓泽电子股份有限公司

地点：孟州市城伯镇前姚村

仪器型号：蔡司EVO10

隔震方案：Aris Integra500

使用单位：盘固集团

地点：常州市金坛区百花东路与曙光北路交汇处

仪器型号：Zeiss Sigma300

隔振方案：Aris Integra500

ARIS主动隔震系统安装前后，蔡司电镜成像图对比