激光共聚焦显微系统主动隔振台/主动减震台/主动防震台

激光共聚焦显微系统主动隔振台/主动减震台/主动防震台

ARISTT主动隔振台广泛应用于Keyence基恩士激光共聚焦显微镜、Zeiss蔡司激光共聚焦显微镜、Leika徕卡轮廓仪、Sensofar轮廓仪......


背景:激光共聚焦显微镜3D测量、元素分析

使用设备:Keyence基恩士VHX超高精细显微镜、Zeiss蔡司LSM激光共聚焦显微镜

使用单位:微软、名硕集团、立讯精密、TTM、南京理工大学、华为、中国科学技术大学

隔振方案:ARISTT主动隔振台/主动减震台/主动防震台





ARISTT主动隔振台/主动减震台/主动防震台

一种轻型紧凑的桌面型主动隔振台,可抵消敏感设备的不必要振动。流线型设计允许它无缝地成为工作站环境的一部分,其简单的组成不需要后续调整。

主要优势:

 1. 6自由度隔振

 2. 0.5Hz开始隔振有效增益

 3. 可变阻尼

 4. 内置人工智能功能

 5. 主动隔振频率范围可调整

 6. 远程控制

 7. 内置实时诊断工具(频谱分析仪、示波器)

 8. 震动模式(可选)

应用领域:

 1. 原子力显微镜/AFM

 2. 高分辨率光学显微镜

 3. 轮廓仪、干涉仪

 4. 真空腔

 5. 光学系统

规格参数:

Model/型号ARISTT20ARISTT75i
ARISTT75
ARISTT75X
ARISTT100
ARISTT150
ARISTT180
ARISTT200
Dimensions/规格(mm)300x450x80300x450x80
400x500x80400x500x80400x500x80400x500x80500x600x80 600x800x80
Load Capacity(Kg)5-2015-7515-7515-7540-10070-15080-18090-200
Actuaotor Force
制动器力
Vertical:25N;Horizontal:50N
Active Isolation Range
主动隔振频率
0.5-100Hz
Architecture/结构MVIS - Multi-layer Vibration Isolation Structure/MVIS-多层隔振结构
Degrees of Freedom
自由度
4 degrees6 degrees
Vibration Isolation Performance/性能
~8db gain on 1Hz 

~20db gain on 2Hz

Setting Time
响应时间
≤0.1 sec
Real-Time Diagnostic Tools
实时诊断工具
Built-in Real-Time 2 channels Oscilloscope, Real Time 2 channel Spectrum Analyzer
Real-Time performance adjustment
实时性能调整工具
Adaptive Control in ALL 6 degrees of freedom in real-time. Remote Access
Input Voltage
电压
AC 80-260V/50-60Hz


Copyright@广州至一科技有限公司 粤ICP备18128639号