Themis球差透射电镜隔振方案-ARISMD主动隔振系统
Themis球差透射电镜隔振方案-ARISMD主动隔振系统
ARISMD主动隔振系统/主动式减震台/主动防震系统，完美适用于赛默飞Themis球差透射电子显微镜，安装方法灵活多样，可以采用填充式安装，和直接集成到电镜底部......
背景：用于材料科学的 Themis ETEM 将标准 S/TEM 和专用环境 TEM 能力结合在一起，可用于时间分辨的纳米材料动态行为原位研究。Themis ETEM 是用于原位实验（例如将纳米结构暴露于气态反应/操作环境中）的集成式平台。
使用单位：Carnegie Mellon University
设备型号：Titan Themis G2 200 S/TEM
隔振方案：ARISMD1000主动隔振系统
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背景：用于半导体的 Themis Z S/TEM Thermo Scientific是一款 80–200kV 扫描/透射电子显微镜 (S/TEM)，专为半导体设备的高速成像和分析而设计。具有较佳空间分辨率和较高效化学分析的独特组合。
使用单位：清华大学
设备型号：Themis Z G2 S/TEM
隔振方案：ARISMD600-M主动隔振系统
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ARISMD主动隔振系统/主动减震系统/主动防震系统
紧凑型模块化主动隔振系统，能够抵消影响超高精密设备或工具的振动，多个独立的隔振器可承受高达4000Kg的大型设备负载，安装简易灵活，无需抬高及重新校准。
主要优势：
1. 6自由度隔振
2. 0.5Hz开始隔振有效增益
3. 可变阻尼
4. 内置人工智能功能
5. 主动隔振频率范围可调整
6. 远程控制
7. 内置实时诊断工具（频谱分析仪、示波器）
8. 震动模式（可选）
应用领域：
1. 电子显微镜（SEM、TEM、FIB、EBL、DualBeam）
2. 半导体测试设备（光刻机、晶圆测试仪、电子束曝光机、CD_SEM）
3. 扫描隧道显微镜/STM、扫描探针显微镜SPM、大型原子力显微镜/AFM
4. X-Ray、CT、MPI
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规格参数：
| Model/型号 | ARISMD300 | ARISMD500 | ARISMD1000 |
| Dimensions/规格（mm） | 230x270x75 | 230x270x75 | 230x370x75 |
| Load Capacity（Kg） | 100-300 per Isolator (Module) Number of Modules unlimited | 200-500 per Isolator (Module) Number of Modules unlimited | 500-1000 per Isolator (Module) Number of Modules unlimited |
| Actuaotor Force/制动器力 | Vertical = 50N ; Horizontal = 25N | ||
| Active Isolation Range/主动隔振频率 | 0.5-100Hz | ||
| Architecture/结构 | MVIS - Multi-layer Vibration Isolation Structure/MVIS-多层隔振结构 | ||
| Degrees of Freedom/自由度 | 6 degrees | ||
| Vibration Isolation Performance/性能 | ~8db gain on 1Hz ~20db gain on 2Hz | ||
| Setting Time/响应时间 | ≤0.1 sec | ||
| Real-Time Diagnostic Tools 实时诊断工具 | Built-in Real-Time 2 channels Oscilloscope, Real Time 2 channel Spectrum Analyzer | ||
| Real-Time performance adjustment 实时性能调整工具 | Adaptive Control in ALL 6 degrees of freedom in real-time. Remote Access | ||
| Input Voltage/电压 | AC 80-260V/50-60Hz | ||
